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产品介绍
TDS测试原理：
材料内应力的存在会使材料产生各向异性应变，由于光弹效应，该各向异性应变会产生光学各向异性。当入射偏振激光穿过样品材料时，表现出各向异性的两个光学主轴对光的传播速度会有不同，即在出射点形成一定的相位差，从而其透射强度会有不同。透射偏振差分技术是通过对透射光的偏振状态进行测试，得到样品表面相互垂直的两个方向上的光强透射比率差，结合光弹效应原理计算出材料的内应力，可以实现对样品的应力各向异性分布的实时、无损、高精度、快速检测。
产品图
2英寸InP晶片内应力分布
产品特点：
●采用光学原理进行测量，对样品无损伤
●扫描范围大，样品最大可达6英寸，且量程可调
●采用自动扫描数据采集，操作简单，提高效率
●强大的数据处理系统，可快速成像
●测量为无损伤测量，设备维护成本低
技术参数：
