本应力测试系统结构简单,虽然仍基于光弹性原理,但在应力信息处理和提取方式上不同于传统的光弹性方法,主要体现在以下几个方面:
01、高效性
本系统采用像素偏振相机记录光弹图像,实现了动态相移,可实时显示定量测试结果(应力双折射场和主应力方向场)。可用于器件生产过程中的在线测量。
02、便利性
只需把试件放在测试平台上,不需要转动试件和任何光学元件,即可通过软件在十秒内获取试件各应力分量的信息(市面上唯一能做到的在售设备)。
03、高灵敏度
比起传统的光弹条纹场,本系统的测试结果对应力的变化更灵敏(至少高一倍)。
04、更好的客观性
在相同的相机参数和软件参数设置下,不会出现传统测试中因人而异的测试结果。
05、更完善的软件操作
除了试件识别环节,其它所有操作都有经过优化的缺省值,用户直接点击“下一步”即可;获得各应力分量场后,用户还可以查看任一横、纵截面上的应力分布曲线。
06、主要技术指标
测试平台尺寸范围:
130mm×130mm —1500mm×1500mm。
双折射量程:
基本型: 160nm; 增强型:4400nm。
分辨率与精度(以0.8mm厚的钙钠玻璃为例):
应力分辨率:0.2MPa, 应力测试精度:1.0MPa。 双折射分辨率:0.1nm,精度:1.0nm。
07、系统配置
主测试系统一套:包括光学平台、手动升降立柱、相机台(含定焦和3X变焦镜头各1个);
高配电脑一台(含软件一套)。
08、应用领域
透明的玻璃/石英器件、注塑器件、手机膜、SiC晶圆等试 件内部残余应力的测试。
应力测试系统
手机膜的应力双折射测试结果(nm)
SiC晶圆的应力双折射测试结果(nm)
大块石英板残余应力的现场测试